人民財訊12月25日電，企查查APP顯示，近日，上海微電子裝備（集團）股份有限公司中標(biāo)步進掃描式光刻機項目，中標(biāo)金額約1.09億元。據(jù)此前公告，招標(biāo)方為科學(xué)技術(shù)部。企查查信息顯示，該公司成立于2002年，經(jīng)營范圍包含：半導(dǎo)體裝備、泛半導(dǎo)體裝備、高端智能裝備的開發(fā)、設(shè)計、制造、銷售及技術(shù)服務(wù)等，由上海電氣控股集團有限公司、張江高科全資子公司上海張江浩成創(chuàng)業(yè)投資有限公司等共同持股。

據(jù)了解，步進掃描光刻是一種混合光刻技術(shù)，結(jié)合了掃描投影光刻和分步重復(fù)光刻的優(yōu)勢。該技術(shù)通過動態(tài)掃描方式同步移動掩膜版和晶圓，標(biāo)準(zhǔn)曝光尺寸為26 mm×33 mm，可增大曝光場并一次曝光多個芯片，其具備整個掃描過程的實時聚焦調(diào)節(jié)能力，適用于0.25μm以下的制造工藝，尤其在0.18μm節(jié)點及更先進工藝中廣泛應(yīng)用。