近日，江蘇省召開了全省科技大會暨科學技術獎勵大會，公布了2023年度江蘇省科學技術獎。由敏芯股份、東南大學以及中國電子科技集團共同完成的“高性能諧振式硅基MEMS慣性傳感器關鍵技術及應用”項目榮獲江蘇省科學技術三等獎。

江蘇省科學技術獎由省人民政府設立，是江蘇省科技領域的最高獎項，主要獎勵在技術發明、技術開發、重大工程建設、科學技術成果推廣轉化、高新技術產業化、社會公益等方面取得顯著經濟效益或社會效益的科技項目，每一項獲獎成果都代表了其所在領域的頂尖水平。

MEMS傳感器具有體積小、功耗低、一致性高、成本低等特點，為智能設備的發展奠定了重要的技術基礎。國家“十三五”規劃提出制造強國戰略，“十四五”規劃正式提出打造數字經濟新優勢，MEMS傳感器作為“卡脖子”領域的核心技術，對于數字經濟的推動作用愈發重要。

高性能諧振式硅基MEMS慣性傳感器代表了MEMS技術在慣性傳感領域的最新發展成果，這種技術革新提高了傳感器的性能并降低了生產成本。其采用諧振式工作原理，結合硅基材料的高精度加工技術，實現了對物體運動狀態的高精度感知和測量，在無人機、電動汽車、智能機器人等需要高精度導航和姿態控制的領域具有廣泛的應用前景。

本項目突破了高性能MEMS慣性傳感器結構設計、多回路全閉環式低噪聲測控電路、傳感器先進封裝技術、慣性測量誤差在線自補償技術等關鍵技術，自主研制成功高性能諧振式硅基MEMS慣性傳感器。